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特种合金在半导体设备结构件中的创新应用

作者:天津市鑫晟祥宏齿轮机械制造有限公司N10276 合金板 发布时间:2025-10-23 13:11:48

信息摘要:

半导体制造设备对结构材料的强度、稳定性和洁净度要求严格。特种合金为设备关键结构件提供可靠解决方案。

半导体制造设备需要在严苛的工艺环境下长期稳定运行,其结构材料的性能直接影响设备的可靠性和工艺稳定性。从真空腔体到传输系统,从反应室到支撑结构,每个部件都需要特定的材料特性支撑。

特种合金在半导体设备结构件中的创新应用

高强度合金钢Q890D在设备框架结构中表现突出。这种低合金高强钢具有优良的强度和韧性配合,适用于半导体设备的重型框架和支撑结构。我们通过调质处理和精密机加工,确保构件具有稳定的尺寸精度和力学性能。

NS333板材在强腐蚀环境中发挥关键作用。这种镍基合金具有极佳的耐腐蚀性能,适用于湿法刻蚀设备、清洗设备等强腐蚀环境。我们通过优化的热处理工艺,确保材料在保持耐腐蚀性的同时获得最佳的力学性能。

特种合金在半导体设备结构件中的创新应用

耐热钢314L在高温部件中展现卓越性能。这种奥氏体耐热钢具有优良的高温强度和抗氧化性能,适用于热处理设备、扩散炉等高温环境。我们通过固溶处理和稳定化处理,确保材料在高温下的组织稳定性。

我们高度重视设备结构材料的尺寸稳定性和热匹配性,通过精密的材料选择和工艺控制,确保设备在热循环过程中的精度保持能力。